Micromachined two-axis water-immersible scanning mirror using torsional and bending hinges
Micromachined two-axis water-immersible scanning mirror using torsional and bending hinges
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使用扭转和弯曲铰链的微机械两轴水浸式扫描镜
DOI：
10.1117/1.jom.1.4.044001
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发表时间：
2021
影响因子：
1.6
通讯作者：
Zou, Jun
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Li, Shuangliang;Duan, Xiaoyu;Zou, Jun
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使用扭转和弯曲聚合物铰链的两轴水浸式微扫描镜（WIMSM）
DOI：
10.1117/12.2578907
发表时间：
2021
期刊：
MOEMS and Miniaturized Systems XX
影响因子：
--
作者：
Duan, Xiaoyu;Zou, Jun
通讯作者：
Zou, Jun
使用 BoPET 铰链的微机械水浸式扫描镜
DOI：
10.1016/j.sna.2019.111564
发表时间：
2019
期刊：
Sensors and Actuators A: Physical
影响因子：
--
作者：
Xu, Song;Li, Shuangliang;Zou, Jun
通讯作者：
Zou, Jun
动态结构滤波单电感线圈驱动的两轴水浸式微扫描镜
DOI：
10.1016/j.sna.2018.10.029
发表时间：
2018
期刊：
Sensors and Actuators A: Physical
影响因子：
--
作者：
Song Xu;Xiaoyu Duan;J. Zou
通讯作者：
J. Zou
用于扫描光学和声学显微镜的两轴水浸式微扫描镜
DOI：
10.1117/1.jmm.15.4.045005
发表时间：
2016
期刊：
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
影响因子：
--
作者：
Song Xu;J. Zou
通讯作者：
J. Zou
影响因子：
4.6
作者：
Duan, Xiaoyu;Li, Shuangliang;Zou, Jun
通讯作者：
Zou, Jun