Tip-Based Nanofabrication for Scalable Manufacturing
Tip-Based Nanofabrication for Scalable Manufacturing
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DOI：
10.3390/mi8030090
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发表时间：
2017-03-16
期刊：
影响因子：
3.4
通讯作者：
Somnath S
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hu H;Kim HJ;Somnath S
尖端纳米纤维（TBN）是一种新兴的纳米纤维技术，它使用纳米尺度的尖端来制造纳米结构。在本文中，我们首先介绍了TBN的历史和技术发展。然后，我们简要回顾了使用不同物理或化学机制来制造特征的各种TBN技术，并讨论了一些最先进的技术。随后，我们专注于那些TBN方法，已被证明有潜力扩大生产量。最后，我们讨论了几个研究方向，使TBN可扩展的纳米制造技术是必不可少的。
Tip-based nanofabrication (TBN) is a family of emerging nanofabrication techniques that use a nanometer scale tip to fabricate nanostructures. In this review, we first introduce the history of the TBN and the technology development. We then briefly review various TBN techniques that use different physical or chemical mechanisms to fabricate features and discuss some of the state-of-the-art techniques. Subsequently, we focus on those TBN methods that have demonstrated potential to scale up the manufacturing throughput. Finally, we discuss several research directions that are essential for making TBN a scalable nano-manufacturing technology.
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