High-mobility germanium p-MOSFETs by using HCl and (NH4)2S surface passivation

High-mobility germanium p-MOSFETs by using HCl and (NH4)2S surface passivation
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使用 HCl 和 (NH4)2S 表面钝化的高迁移率锗 p-MOSFET

DOI:
10.1088/1674-1056/22/10/107302
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发表时间:
2013-10
期刊:
影响因子:
1.7
通讯作者:
刘洪刚
刘洪刚
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者:
常虎东;孙兵;赵威;刘洪刚

文献摘要

参考文献

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为了实现高空穴迁移率 Ge p-MOSFET 应用的高质量高 κ/Ge 界面,引入了简单的化学清洗和表面钝化方案,并演示了有效沟道空穴迁移率高达 665 cm2/Vs 的 Ge p-MOSFET
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DOI: 10.1016/j.nimb.2010.09.007
发表时间: 2010-11
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A. Aktağ;E. Yılmaz;N. A. Mogaddam;Gülnur Aygün;A. Cantas;R. Turan
通讯作者: A. Aktağ;E. Yılmaz;N. A. Mogaddam;Gülnur Aygün;A. Cantas;R. Turan
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C. X. Li, C. H. Leung, P. T. Lai, J. P. Xu
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Chang Hudong;Liu Guiming;Bing Sun;Wei Zhao;Wenxin Wang;Honggang Liu
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发表时间: 2009-10
期刊: The Japan Society of Applied Physics
影响因子: --
作者:
Shengkai Wang;K. Kita;T. Nishimura;K. Nagashio;A. Toriumi
通讯作者: Shengkai Wang;K. Kita;T. Nishimura;K. Nagashio;A. Toriumi
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发表时间: 1994-12-01
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作者:
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通讯作者: TANGO, H