Fabrication and Experimental Characterization of a MEMS Microphone Using Electrostatic Levitation
Fabrication and Experimental Characterization of a MEMS Microphone Using Electrostatic Levitation
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使用静电悬浮的 MEMS 麦克风的制造和实验表征
DOI：
10.1109/sensors43011.2019.8956879
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Miles, Ronald N.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Ozdogan, Mehmet;Towfighian, Shahrzad;Miles, Ronald N.
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第一个低电压、低噪声差分硅麦克风，技术开发和测量结果
DOI：
--
发表时间：
2001
期刊：
Technical Digest. MEMS 2001. 14th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.01CH37090)
影响因子：
--
作者：
P. Rombach;M. Müllenborn;Udo Klein;K. Rasmussen
通讯作者：
K. Rasmussen
影响因子：
4.3
作者：
Kuntzman, Michael L.;Hewa-Kasakarage, Nishshanka N.;Hall, Neal A.
通讯作者：
Hall, Neal A.
助听器用微机械电容式麦克风
DOI：
--
发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
--
作者：
D. Schafer;S. Shoaf;P. Loeppert
通讯作者：
P. Loeppert
硅MEMS麦克风时代及其展望
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
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影响因子：
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通讯作者：
J. Tao
表面和体微机械双背板电容式麦克风
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005.
影响因子：
--
作者：
D.T. Martin;K. Kadirvel;R. Fox;T. Nishider;J. Liu;M. Sheplak
通讯作者：
M. Sheplak