Aluminum acceptor activation and charge compensation in implanted p-type 4H-SiC
Aluminum acceptor activation and charge compensation in implanted p-type 4H-SiC
复制标题
注入 p 型 4H-SiC 中的铝受体激活和电荷补偿
DOI：
10.1063/1.5096440
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
1.6
通讯作者：
T. Erlbacher
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J. Weiße;M. Hauck;M. Krieger;A. J. Bauer;T. Erlbacher
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