表面光反射分光によるSi(001)初期酸化過程のリアルタイム解析

表面光反射分光によるSi(001)初期酸化過程のリアルタイム解析
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利用表面光反射光谱实时分析Si(001)的初始氧化过程

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
大野真也
大野真也
中科院分区:
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文献类型:
--
作者:
M. Tanaka;K. Shudo;S. Ohno;T. Iida;S. Ohno;S. Ohno;大野真也;大野真也;大野真也;大野真也;大野真也;大野真也;大野真也

文献摘要

参考文献

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