Quantitative scanning spreading resistance microscopy on n-type dopant diffusion profiles in germanium and the origin of dopant deactivation
Quantitative scanning spreading resistance microscopy on n-type dopant diffusion profiles in germanium and the origin of dopant deactivation
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锗中 n 型掺杂剂扩散曲线的定量扫描扩散电阻显微镜和掺杂剂失活的起源
DOI：
10.1063/1.5066617
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发表时间：
2019
影响因子：
3.2
通讯作者：
H. Bracht
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J. K. Prüßing;G. Hamdana;D. Bougeard;E. Peiner;H. Bracht
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DOI：
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通讯作者：
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DOI：
--
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--
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通讯作者：
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DOI：
--
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--
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通讯作者：
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