Accelerated life time estimation of electrostatic microactuators
Accelerated life time estimation of electrostatic microactuators
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静电微执行器的加速寿命估计
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yoshio Mita et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Benjamin Caillard;Yoshio Mita et al.
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基于分布式系统的气力输送机MEMS阵列及其控制
DOI：
10.1109/memsys.2005.1453862
发表时间：
2005
期刊：
18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2005. MEMS 2005.
影响因子：
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作者：
Y. Fukuta;Y. Chapuis;Y. Mita;H. Fujita
通讯作者：
H. Fujita
通过前端体微机械加工获得的 CMOS MEMS 结构的可靠性分析
DOI：
10.1016/s0026-2714(02)00230-5
发表时间：
2002
期刊：
Microelectron. Reliab.
影响因子：
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作者：
M. Dardalhon;V. Beroulle;L. Latorre;P. Nouet;G. Perez;J. Nicot;C. Oudéa
通讯作者：
C. Oudéa
影响因子：
4.6
作者：
L. Rocha;E. Cretu;R. Wolffenbuttel
通讯作者：
R. Wolffenbuttel
MEMS 的十年及其未来
DOI：
10.1109/memsys.1997.581729
发表时间：
1997
期刊：
Proceedings IEEE The Tenth Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems. An Investigation of Micro Structures, Sensors, Actuators, Machines and Robots
影响因子：
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作者：
Hiroyuki Fujita
通讯作者：
Hiroyuki Fujita
影响因子：
2.3
作者：
Hill, M;O' Mahony, C;Mathewson, A
通讯作者：
Mathewson, A