水素化微結晶シリコンを初期膜とするレーザー脱水素およびレーザー結晶化poly-Si TFT

水素化微結晶シリコンを初期膜とするレーザー脱水素およびレーザー結晶化poly-Si TFT
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以氢化微晶硅为初始薄膜的激光脱氢和激光晶化多晶硅TFT

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
北原邦紀
北原邦紀
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
佐藤旦;梅津渉;山本健一;神原潤二;原明人;北原邦紀

文献摘要

参考文献

被引文献

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