水素化微結晶シリコンを初期膜とするレーザー脱水素およびレーザー結晶化poly-Si TFT
水素化微結晶シリコンを初期膜とするレーザー脱水素およびレーザー結晶化poly-Si TFT
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以氢化微晶硅为初始薄膜的激光脱氢和激光晶化多晶硅TFT
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
北原邦紀
中科院分区:
文献类型:
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作者:
佐藤旦;梅津渉;山本健一;神原潤二;原明人;北原邦紀
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DOI:
10.1016/0038-1098(80)90558-x
发表时间:
1980
期刊:
影响因子:
--
作者:
W. Paul
通讯作者:
W. Paul
DOI:
10.1063/1.333419
发表时间:
1984
期刊:
影响因子:
--
作者:
M. Matsui;Y. Shiraki;E. Maruyama;J. Ohwada
通讯作者:
J. Ohwada
DOI:
10.1016/0022-3093(80)90602-x
发表时间:
1980
期刊:
影响因子:
--
作者:
R. Sussmann;A. J. Harris;R. Ogden
通讯作者:
R. Ogden
DOI:
10.1063/1.90429
发表时间:
1978
期刊:
影响因子:
--
作者:
D. Auston;J. Golovchenko;P. Smith;C. Surko;T. Venkatesan
通讯作者:
T. Venkatesan
DOI:
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发表时间:
1976
期刊:
影响因子:
--
作者:
W. Spear;P. L. Comber;S. Kinmond;M. Brodsky
通讯作者:
M. Brodsky