Synthesis and electroplating of high resolution insulated carbon nanotube scanning probes for imaging in liquid solutions.
Synthesis and electroplating of high resolution insulated carbon nanotube scanning probes for imaging in liquid solutions.
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DOI：
10.1088/0957-4484/23/14/145301
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发表时间：
2012-04-13
期刊：
影响因子：
3.5
通讯作者：
Rack PD
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Roberts NA;Noh JH;Lassiter MG;Guo S;Kalinin SV;Rack PD
高分辨率和隔离的扫描探针显微镜(SPM)需要继续发展涉及纳米级化学反应的能量存储和转换系统，以及对生物系统的更好理解。碳纳米管(CNT)具有大的长径比，如果利用得当，可以用来开发高分辨率的SPM探针。通过沉积介质膜并选择性地在探头的顶端进行刻蚀，可以实现对SPM探头的隔离。本文介绍了用电子束诱导刻蚀的方法，在SPM顶端附着碳纳米管的情况下，在SPM顶端沉积一层介质膜，从而制作出高分辨率的隔离SPM尖端。
High resolution and isolated scanning probe microscopy (SPM) is in demand for continued development of energy storage and conversion systems involving chemical reactions at the nanoscale as well as an improved understanding of biological systems. Carbon nanotubes (CNTs) have large aspect ratios and, if leveraged properly, can be used to develop high resolution SPM probes. Isolation of SPM probes can be achieved by deposited a dielectric film and selectively etching at the apex of the probe. In this paper the fabrication of a high resolution and isolated SPM tip is demonstrated using electron beam induced etching of a dielectric film deposited onto an SPM tip with an attached CNT at the apex.
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