ZnO deposited on Si (111) with Al2O3 buffer layer by atomic layer deposition

ZnO deposited on Si (111) with Al2O3 buffer layer by atomic layer deposition
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通过原子层沉积在带有 Al2O3 缓冲层的 Si(111)上沉积 ZnO

DOI:
10.1016/j.vacuum.2014.04.019
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发表时间:
2014-09
期刊:
影响因子:
4
通讯作者:
Liu, Chang
Liu, Chang
中科院分区:
材料科学2区
文献类型:
--
作者:
Gan, Xue-Wei;Wang, Ti;Wu, Hao;Liu, Chang

文献摘要

参考文献

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