A Stacked Planar Sensor Concept for Minimally Invasive Plasma Monitoring
A Stacked Planar Sensor Concept for Minimally Invasive Plasma Monitoring
复制标题
用于微创等离子体监测的堆叠平面传感器概念
DOI：
10.23919/apmc.2018.8617552
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
I. Rolfes
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Pohle;C. Schulz;M. Oberberg;M. Friedrichs;A. Serwa;P. Uhlig;J. Oberrath;P. Awakowicz;I. Rolfes
登录
查看更多内容
DOI：
10.1109/tim.2014.2358111
发表时间：
2015-04-01
影响因子：
5.6
作者：
Schulz, Christian;Styrnoll, Tim;Rolfes, Ilona
通讯作者：
Rolfes, Ilona
多极共振探头的进展：基于 LTCC 技术的先进等离子体传感器
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
European Microwave Conference
影响因子：
--
作者：
Dennis Pohle;C. Schulz;M. Oberberg;A. Serwa;P. Uhlig;P. Awakowicz;I. Rolfes
通讯作者：
I. Rolfes
多极共振探头：过程兼容等离子体传感器的进展和评估
影响因子：
4.3
作者：
C. Schulz;T. Styrnoll;R. Storch;P. Awakowicz;T. Musch;I. Rolfes
通讯作者：
I. Rolfes
影响因子：
1
作者：
Friedrichs, M.;Oberrath, J.
通讯作者：
Oberrath, J.
用于工业兼容等离子体诊断的先进高温稳定多极共振探头
DOI：
--
发表时间：
2018
期刊：
German Microwave Conference
影响因子：
--
作者：
Dennis Pohle;C. Schulz;I. Rolfes;M. Oberberg;P. Awakowicz;A. Serwa;P. Uhlig
通讯作者：
P. Uhlig