Observation of silicide thermally grown on titanium-deposited silicon surfaces
Observation of silicide thermally grown on titanium-deposited silicon surfaces
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钛沉积硅表面热生长硅化物的观察
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Iida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Tanaka;K. Shudo;S. Ohno;T. Iida
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影响因子：
--
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