Proton Beam Writing micro fabrication system for micro chemical devices
Proton Beam Writing micro fabrication system for micro chemical devices
复制标题
用于微型化学器件的质子束写入微制造系统
DOI：
--
复制
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H. Nishikawa
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
P. N. Truong;R. Teshima;T. Hasegawa;H. Nishikawa
登录
查看更多内容
通过质子束写入制造高纵横比支柱及其在 DEP 器件中的应用
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
Y.Furuta;N.Uchiya;H.Nishikawa;J.Haga;M.Oikawa;T.Satoh;Y.Ishii;T.Kamiya;R.Nakao;S.Uchida
通讯作者：
S.Uchida
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
Journal of Vacuum Science&Technology B:Microelectronics and Nanometer Structures 25
影响因子：
--
作者：
Y.Furuta;N.Uchiya;H.Nishikawa;J.Haga;T.Sato;M.Oikawa;Y.Ishii;T.Kamiya
通讯作者：
T.Kamiya
影响因子：
4.6
作者：
Hasegawa, Tadahiro;Nakashima, Kenichiro;Ikuta, Koji
通讯作者：
Ikuta, Koji
使用聚焦高能质子束光刻技术制造高深宽比微结构
DOI：
--
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
作者：
H.Nishikawa;Y.Furuta;N.Uchiya;J.Haga;M.Oikawa;T.Satoh;Y.Ishii;T.Kamiya
通讯作者：
T.Kamiya