Three dimensional measurement of nano structures by single event TOF-RBS with nuclear nano probe
Three dimensional measurement of nano structures by single event TOF-RBS with nuclear nano probe
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核纳米探针单粒子 TOF-RBS 纳米结构三维测量
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Mikio Takai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Satoshi Abo;Shunya Kumano;Takayuki Azuma;Ryota Sugimoto;Katsuhisa Murakami;Fujio Wakaya;Mikio Takai
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采用束流辅助工艺制造的纳米电子源的特点
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
IEEE/CPMT/SEMI. 28th International Electronics Manufacturing Technology Symposium (Cat. No.03CH37479)
影响因子：
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作者：
K. Murakami;M. Takai
通讯作者：
M. Takai
用于半导体工艺的纳米探针TOF-RBS系统的开发
DOI：
10.1016/s0168-583x(03)01049-8
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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作者：
Hirosuke Takayama;K. Iwasaki;K. Hayashi;M. Takai
通讯作者：
M. Takai
使用多微通道板开发飞行时间 RBS 系统
DOI：
10.1016/j.nimb.2007.01.229
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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作者：
N. V. Nguyen;S. Abo;T. Lohner;H. Sawaragi;F. Wakaya;M. Takai
通讯作者：
M. Takai
用于半导体工艺分析的 TOF-RBS 中能离子纳米探针
DOI：
10.1016/s0168-583x(01)01319-2
发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
--
作者：
K. Iwasaki;J. Tajima;Hirosuke Takayama;F. Pászti;M. Takai
通讯作者：
M. Takai
影响因子：
1.5
作者：
K. Murakami;W. Jarupoonphol;Kazuaki Sakata;M. Takai
通讯作者：
M. Takai