An Approach of Inertial Generated Timing Sequence for Bi-Stable MEMS Switches
An Approach of Inertial Generated Timing Sequence for Bi-Stable MEMS Switches
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双稳态MEMS开关惯性产生时序的一种方法
DOI：
10.1109/jmems.2019.2916599
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发表时间：
2019-05
影响因子：
2.7
通讯作者：
尤政
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
边潍;赵嘉昊;尤政
本文介绍了一种双稳态MEMS开关。第一次，该开关的时序是由附加质量块而不是外部电路或有源芯片产生的。为了验证该方法的有效性，制作并测试了该开关。因此，在25v的驱动电压下，器件可以在8ms内完成动作。也就是说，已经验证了惯性产生时序的方法是构建双稳态MEMS开关的有效方案，不需要外部电路或有源芯片。(2018 - 0283)
A bi-stable MEMS switch is introduced in this letter. For the first time, the timing sequence of this switch is generated by an additional mass block rather than an external circuit or active chip. To prove the effectiveness of this method, the switch was fabricated and tested. As a result, the device could complete the action in 8 ms, under the condition of a 25-V driving voltage. That is to say, it has been verified the approach of inertial generated timing sequence is an effective solution to construct a bi-stable MEMS switch, and no external circuit or active chip is needed. [2018-0283]
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影响因子：
2.7
作者：
Huang, Hen-Wei;Yang, Yao-Joe
通讯作者：
Yang, Yao-Joe
影响因子：
2.3
作者：
Yibo Wu;Congchun Zhang;Hong Wang;G. Ding
通讯作者：
Yibo Wu;Congchun Zhang;Hong Wang;G. Ding
DOI：
10.1109/holm.2004.1353121
发表时间：
2004-11
期刊：
Proceedings of the 50th IEEE Holm Conference on Electrical Contacts and the 22nd International Conference on Electrical Contacts Electrical Contacts, 2004.
影响因子：
--
作者：
V. Agrawal
通讯作者：
V. Agrawal
影响因子：
5.2
作者：
Palathingal, Safvan;Ananthasuresh, G. K.
通讯作者：
Ananthasuresh, G. K.
影响因子：
3.3
作者：
Dellaert, Dries;Doutreloigne, Jan
通讯作者：
Doutreloigne, Jan