Mechanical properties of La2O3 doped diamond-like carbon films
Mechanical properties of La2O3 doped diamond-like carbon films
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La2O3掺杂类金刚石碳薄膜的力学性能
DOI：
10.1016/j.surfcoat.2007.07.018
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发表时间：
2008-02
影响因子：
5.4
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
使用不平衡双磁控管溅射沉积十二层 La2O3 掺杂的类金刚石碳 (DLC) 纳米膜。采用 AFM、XRD、拉曼光谱、AES、XPS、TEM、接触表面轮廓仪和纳米压痕仪研究沉积膜的结构和摩擦学性能。结果表明La2O3掺杂的DLC薄膜是非晶态的。 La2O3掺杂明显降低内应力，有效提高弹性模量。这是由于 La2O3 在非晶态 DLC 基质中的溶解和分解造成的。此外，掺杂DLC薄膜的摩擦系数降低，粘附强度增加。这些分别归因于La2O3的润滑功能和界面处过渡层的形成。
Twelve La2O3doped diamond-like carbon (DLC) nanofilms were deposited using unbalanced dual-magnetron sputtering. AFM, XRD, Raman spectroscopy, AES, XPS, TEM, contact surface profiler and nanoindenter were employed to investigate the structure and tribological properties of deposited films. The results show that the La2O3doped DLC films are amorphous. La2O3doping obviously decreases internal stress, and effectively increases the elastic modulus. This results from the dissolving and dissolution of La2O3within the amorphous DLC matrix. Furthermore, the friction coefficient of the doped DLC films decreases, and adhesion strength increases. These are attributed to the lubrication function of La2O3and the formation of transition layer at interface, respectively.
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