Micromachined water-immersible scanning mirror with torsional and bending hinges
Micromachined water-immersible scanning mirror with torsional and bending hinges
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带扭转和弯曲铰链的微机械水浸扫描镜
DOI：
10.1117/12.2608892
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Zou, Jun
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Li, Shuangliang;Duan, Xiaoyu;Zou, Jun
本文报道了一种新型的双轴水浸微扫描镜（WIMSM），采用扭转和弯曲BoPET（双轴取向聚对苯二甲酸乙二醇酯）铰链。开发了一种基于微机械加工的制造工艺，以实现高的图案化分辨率和对准精度，并减少手动组装的量。通过扭转铰链，快轴在空气中的共振频率约为300 Hz，在水中约为200 Hz。采用弯曲铰链，慢轴在空气中的共振频率为60~70 Hz，在水中的共振频率为20~40 Hz。二维B扫描和三维体积超声显微镜演示通过使用混合铰链扫描镜。以DC或非常低的频率扫描慢轴的能力允许形成密集的光栅扫描图案，用于提高成像分辨率和视场。
This paper reports a new two-axis water-immersible micro scanning mirror (WIMSM) using torsional and bending BoPET (biaxially-oriented polyethylene terephthalate) hinges. A micromachining-based fabrication process is developed to enable high patterning resolution and alignment accuracy and to reduce the amount of manual assembly. With a torsional hinge, the fast axis has a resonance frequency of ~300 Hz in air and ~200 Hz in water. With a bending hinge, the slow axis has a resonance frequency of 60~70 Hz in air and 20~40 Hz in water. 2D B-scan and 3D volumetric ultrasound microscopy are demonstrated by using the hybrid-hinge scanning mirror. The ability of scanning the slow axis at DC or very low frequencies allows a dense raster scanning pattern to be formed for improving both the imaging resolution and field of view.
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使用 BoPET 铰链的微机械水浸式扫描镜
DOI：
10.1016/j.sna.2019.111564
发表时间：
2019
期刊：
Sensors and Actuators A: Physical
影响因子：
--
作者：
Xu, Song;Li, Shuangliang;Zou, Jun
通讯作者：
Zou, Jun
动态结构滤波单电感线圈驱动的两轴水浸式微扫描镜
DOI：
10.1016/j.sna.2018.10.029
发表时间：
2018
期刊：
Sensors and Actuators A: Physical
影响因子：
--
作者：
Song Xu;Xiaoyu Duan;J. Zou
通讯作者：
J. Zou
用于扫描光学和声学显微镜的两轴水浸式微扫描镜
DOI：
10.1117/1.jmm.15.4.045005
发表时间：
2016
期刊：
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
影响因子：
--
作者：
Song Xu;J. Zou
通讯作者：
J. Zou
影响因子：
4.6
作者：
Duan, Xiaoyu;Li, Shuangliang;Zou, Jun
通讯作者：
Zou, Jun
聚对苯二甲酸乙二醇酯的 CO2 激光烧蚀蚀刻
DOI：
10.1007/bf00694685
发表时间：
1989
期刊：
Applied Physics B
影响因子：
--
作者：
P. Dyer;G. Oldershaw;J. Sidhu
通讯作者：
J. Sidhu