Spoke rotation reversal in magnetron discharges of aluminium, chromium and titanium
Spoke rotation reversal in magnetron discharges of aluminium, chromium and titanium
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铝、铬和钛磁控管放电中辐条旋转反转
DOI：
10.1088/0963-0252/25/3/035001
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发表时间：
2016
影响因子：
3.8
通讯作者：
A von Keudell
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Hecimovic A;C Maszl;V Schulz-von der Gathen;M Böke;A von Keudell
在磁控管放电中，经常观察到局部电离区（即轮辐）的旋转。辐条的调查，通过测量浮动电位振荡与12个平面探头方位放置在一个平面圆形磁控管周围。12探头设置提供了足够的时间和空间分辨率，以观察各种辐条的属性，如旋转方向，模式数和角速度。研究轮辐作为放电电流的函数，范围从10 mA（电流密度0.5 mA cm− 2）到140 A（7 A cm− 2）。在10 mA至600 mA的范围内，等离子体以DC模式维持，并且在1 A至140 A的范围内，等离子体以高功率脉冲磁控溅射模式脉冲。在整个放电电流范围内轮辐的存在表明轮辐是磁控溅射等离子体放电的固有特性。辐条可能会消失在放电电流高于80 A的铬，等离子体变得均匀分布在赛道。高达几安培的放电电流（确切值取决于目标材料），辐条以逆行方式旋转
The rotation of localised ionisation zones, ie spokes, in magnetron discharge are frequently observed. The spokes are investigated by measuring floating potential oscillations with 12 flat probes placed azimuthally around a planar circular magnetron. The 12-probe setup provides sufficient temporal and spatial resolution to observe the properties of various spokes, such as rotation direction, mode number and angular velocity. The spokes are investigated as a function of discharge current, ranging from 10 mA (current density 0.5 mA cm− 2) to 140 A (7 A cm− 2). In the range from 10 mA to 600 mA the plasma was sustained in DC mode, and in the range from 1 A to 140 A the plasma was pulsed in high-power impulse magnetron sputtering mode. The presence of spokes throughout the complete discharge current range indicates that the spokes are an intrinsic property of a magnetron sputtering plasma discharge. The spokes may disappear at discharge currents above 80 A for Cr, as the plasma becomes homogeneously distributed over the racetrack. Up to discharge currents of several amperes (the exact value depends on the target material), the spokes rotate in a retrograde
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影响因子：
3.8
作者：
P. Poolcharuansin;J. Bradley
通讯作者：
P. Poolcharuansin;J. Bradley
DOI：
10.1116/1.579537
发表时间：
1995
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
--
作者：
G. M. Turner
通讯作者：
G. M. Turner
高电流和低电流磁控溅射之间过渡时电离区的传播方向反转
DOI：
--
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
作者：
Yuchen Yang;Jason Liu;Lin Liu;A. Anders
通讯作者：
A. Anders
影响因子：
3.2
作者：
Horwat, David;Anders, Andre
通讯作者：
Anders, Andre
HiPIMS 中等离子体辐条发射轮廓的特征形状：二次电子的作用
DOI：
10.1088/0022-3727/47/10/102003
发表时间：
2014
期刊：
Journal of Physics D: Applied Physics
影响因子：
--
作者：
Hecimovic A;Böke M;Winter J
通讯作者：
Winter J