Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials
Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials
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薄膜金属玻璃作为新型 MEMS 材料
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akira Shimokohbe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Seiichi Hata;Junpei Sakurai;Akira Shimokohbe
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DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
Jpn. J. Appl. Phys 42
影响因子：
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作者：
Yoshisato YOKOYAMA;Takashi FUKUSHIGE;Seiichi HATA;Kazuya MASU;Akira SHIMOKOHBE
通讯作者：
Akira SHIMOKOHBE
试样尺寸对多晶硅杨氏模量和断裂强度的影响
DOI：
10.1109/84.946774
发表时间：
2001
期刊：
IEEE\/ASME Journal of Microelectromechanical Systems
影响因子：
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作者：
W. Sharpe;K. Jackson;K. Hemker;Z. Xie
通讯作者：
Z. Xie
大输出力面外MEMS执行器阵列
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
Proceedings of SPIE International Symposium on Microelectronics, MEMS and Nanotechnology 5276
影响因子：
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作者：
T.Fukushige;S.Hata;A.Shimokohbe
通讯作者：
A.Shimokohbe
由薄膜金属玻璃制成的微圆顶形状结构
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
Micro System Technology 2003
影响因子：
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作者：
Seiichi Hata;Takashi Yamanaka;Jyunpei Sakurai;Akira Shimokohbe
通讯作者：
Akira Shimokohbe
MEMS 商业化：成功的要素
DOI：
10.1109/memsys.2000.838481
发表时间：
2000
期刊：
Proceedings IEEE Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.00CH36308)
影响因子：
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作者：
R. Payne
通讯作者：
R. Payne