Nano fabrication of star structure for precision metrology developed by focused ion beam direct writing
Nano fabrication of star structure for precision metrology developed by focused ion beam direct writing
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聚焦离子束直写技术开发的用于精密计量的星形结构纳米制造
DOI：
10.1016/j.cirp.2012.03.118
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Weckenmann, Albert
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Xu, Zongwei;Fang, Fengzhou;Gao, Haifeng;Zhu, Yibo;Wu, Wei;Weckenmann, Albert
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影响因子：
4.1
作者：
Danzebrink, H. -U.;Koenders, L.;Kunzmann, H.
通讯作者：
Kunzmann, H.
使用聚焦离子束直写的纳米光掩模制造
DOI：
10.1016/j.cirp.2010.03.038
发表时间：
2010
期刊：
CIRP Annals - Manufacturing Technology
影响因子：
--
作者：
FZ Fang;ZW Xu;XT Hu;CT Wang;X.G. Luo;Y.Q. Fu
通讯作者：
Y.Q. Fu
影响因子：
19.6
作者：
通讯作者：
--
影响因子：
2.4
作者：
Ritter, Martin;Dziomba, Thorsten;Koenders, Ludger
通讯作者：
Koenders, Ludger
影响因子：
2.4
作者：
Gao, F.;Leach, R. K.;Coupland, J. M.
通讯作者：
Coupland, J. M.