Micromachined Resonators: A Review.
Micromachined Resonators: A Review.
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DOI：
10.3390/mi7090160
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发表时间：
2016-09-08
期刊：
影响因子：
3.4
通讯作者：
Nabki F
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Abdolvand R;Bahreyni B;Lee JE;Nabki F
本文综述了在过去几十年中，微机械谐振器在设计、建模和制造方面所取得的显著进展。尽管微谐振器自发展初期以来已经走过了漫长的道路，但它们尚未实现其在各种应用中广泛使用的正确愿景。这部分是由于与限制其性能的物理学相关联的复杂性、在其制造中使用的过程中涉及的复杂性以及在使用不同的转导机制用于其实现中的权衡。这项工作的目的是提供一个简短的介绍，所有这些细节与参考领域的最有影响力的贡献，为那些有兴趣在更深入的理解材料。
This paper is a review of the remarkable progress that has been made during the past few decades in design, modeling, and fabrication of micromachined resonators. Although micro-resonators have come a long way since their early days of development, they are yet to fulfill the rightful vision of their pervasive use across a wide variety of applications. This is partially due to the complexities associated with the physics that limit their performance, the intricacies involved in the processes that are used in their manufacturing, and the trade-offs in using different transduction mechanisms for their implementation. This work is intended to offer a brief introduction to all such details with references to the most influential contributions in the field for those interested in a deeper understanding of the material.
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影响因子：
2.7
作者：
Abdolvand, Reza;Johari, Houri;Ayazi, Farrokh
通讯作者：
Ayazi, Farrokh
DOI：
10.1109/tuffc.2014.006511
发表时间：
2014-12-01
影响因子：
3.6
作者：
Agrawal, Deepak K.;Seshia, Ashwin A.
通讯作者：
Seshia, Ashwin A.
影响因子：
4.6
作者：
Aikele, M;Bauer, K;Seidel, H
通讯作者：
Seidel, H
影响因子：
10.8
作者：
Arlett, J. L.;Maloney, J. R.;Roukes, M. L.
通讯作者：
Roukes, M. L.
影响因子：
4.3
作者：
Azevedo, Robert G.;Jones, Debbie G.;Pisano, Albert P.
通讯作者：
Pisano, Albert P.