Control of nitrogen atomic density and enthalpy flow into reaction chamber in Ar-N2 pulse-modulated induction thermal plasmas

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Ar-N2 脉冲调制感应热等离子体中氮原子密度和进入反应室的焓流量的控制

DOI:
--
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发表时间:
2007
期刊:
IEEE Trans. Plasma Science 35
影响因子:
--
通讯作者:
Y. Uesugi
Y. Uesugi
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Y. Tanaka;T. Muroya;K. Hayashi;Y. Uesugi

文献摘要

参考文献

被引文献

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