Low-Voltage Bulk Micromirror Device Using Tense Thin Film Torsion Bar
Low-Voltage Bulk Micromirror Device Using Tense Thin Film Torsion Bar
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使用张力薄膜扭杆的低压体微镜器件
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuhiro Hane
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shinya Yuuki;Minoru Sasaki;Kazuhiro Hane
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DOI：
10.1016/0250-6874(89)87111-2
发表时间：
1989-11
期刊：
Sensors and Actuators
影响因子：
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作者：
O. Tabata;K. Kawahata;S. Sugiyama;I. Igarashi
通讯作者：
O. Tabata;K. Kawahata;S. Sugiyama;I. Igarashi
氮化硅单层 X 射线掩模
影响因子：
1.5
作者：
M. Sekimoto;H. Yoshihara;T. Ohkubo;Y. Saitoh
通讯作者：
Y. Saitoh
影响因子：
2.6
作者：
V. Milanovic;M. Last;K. Pister
通讯作者：
K. Pister
由带扣桥和垂直梳状驱动执行器构成的三维SOI-MEMS
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
IEEE Journal of Selected Topics Quantum Electronics 10
影响因子：
--
作者：
M.Sasaki;D.Briand;W.Noell;N.de Rooij;K.Hane
通讯作者：
K.Hane
影响因子：
4.7
作者：
Aksyuk, VA;Pardo, F;Bishop, D
通讯作者：
Bishop, D