EUV emission from gas discharge produced plasmas with solid tin as target
EUV emission from gas discharge produced plasmas with solid tin as target
复制标题
气体放电产生的 EUV 发射产生以固体锡为目标的等离子体
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Chaohai Zhang
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
P.G.Gucciardi;M.Allegrini;R.Micheletto;T.Kotani;Y.Hatada;Y.Kawakami;Chaohai Zhang
登录
查看更多内容
13.5 nm PVC 毛细管放电 EUV 光源的性能
影响因子：
2.6
作者：
Ž. Andreić;S. Ellwi;S. Pleslić;H. Kunze
通讯作者：
H. Kunze
光刻用EUV（极紫外）光源研究现状及未来展望3.等离子体作为EUV光刻光源及其理论思考
DOI：
10.1585/jspf.79.226
发表时间：
2003
期刊：
Journal of Plasma and Fusion Research
影响因子：
--
作者：
仁紀 米田
通讯作者：
仁紀 米田
EUVL 不同来源概念的比较
DOI：
10.1117/12.436650
发表时间：
2001
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
R. Lebert;K. Bergmann;L. Juschkin;O. Rosier;W. Neff
通讯作者：
W. Neff
用于极紫外光刻的多千赫兹箍缩等离子体辐射源
影响因子：
2.3
作者：
K. Bergmann;O. Rosier;R. Lebert;W. Neff;R. Poprawe
通讯作者：
R. Poprawe