Correlative Experimental and Theoretical Investigation of the Angle-Resolved Composition Evolution of Thin Films Sputtered from a Compound Mo2BC Target
Correlative Experimental and Theoretical Investigation of the Angle-Resolved Composition Evolution of Thin Films Sputtered from a Compound Mo2BC Target
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复合 Mo2BC 靶材溅射薄膜角度分辨成分演化的相关实验和理论研究
DOI：
10.3390/coatings9030206
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
3.4
通讯作者：
J.M. Schneider
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
J.-O. Achenbach;S. Mráz;D. Primetzhofer;J.M. Schneider
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通讯作者：
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