Chemical solution deposition of PZT/oxide electrode thin film capacitprs with preferred orientation of Si substrate
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化学溶液沉积硅衬底择优取向PZT/氧化物电极薄膜电容器
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Fujimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Suzuki;Y.Miwa;T.Ohno;M.Fujimoto
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利用分子设计的醇盐前驱体溶液低温加工铁电 Pb(Zr0.53Ti0.47)O3 薄膜
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Hisao Suzuki;M. B. Othman;K. Murakami;S. Hayashi
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S. Hayashi
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通讯作者：
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