Deep Level Transient Spectroscopy System Designed by LabVIEW
Deep Level Transient Spectroscopy System Designed by LabVIEW
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LabVIEW设计的深能级瞬态光谱系统
DOI：
10.4028/www.scientific.net/amr.765-767.2324
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发表时间：
2013-09
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Ke Tang
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Run Xu;Jiahua Min;Jian Huang;Ke Tang
深能级瞬态光谱（DLTS）和光感电流瞬态光谱（PICTS）是识别半导体杂质和缺陷的常用方法。本文利用LabVIEW开发了DLTS和PICTS测量系统。一系列不同的仪器构成了该系统的硬件（信号发生器、电流放大器、电容表、示波器等），而软件也很容易通过LabVIEW进行编程。该系统对DLTS和PICTS表现出高度的通用性，采集的数据可以在计算机中存储或读取。相比之下，与商业DLTS或PICTS系统相比，它的成本要低得多。硅P+N结的测试结果与半导体理论研究相吻合。
Deep level transient spectroscopy (DLTS) and photo induced current transient spectroscopy (PICTS) are commonly used methods for the identification semiconductor impurities and defects. In this paper, a measurement system of DLTS and PICTS has been developed by LabVIEW. A series of different instruments construct this systems hardware (signal generator; current amplifier; capacitance meter; oscilloscope,etc.) while software is also easy to program by LabVIEW. This system demonstrates high generality for both DLTS and PICTS, and data acquired can be stored or read in computer. By contrast, it is much lower cost comparative to commercial DLTS or PICTS system. Testing result of silicon P+N junction coincides with semiconductor theory research.
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DOI：
10.1088/0022-3719/14/7/012
发表时间：
1981-03
期刊：
Journal of Physics C: Solid State Physics
影响因子：
--
作者：
J. C. Inkson
通讯作者：
J. C. Inkson
DOI：
10.1116/1.570211
发表时间：
1979-09
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
--
作者：
N. Johnson;D. Bartelink;J. Mcvittie
通讯作者：
N. Johnson;D. Bartelink;J. Mcvittie
影响因子：
3.2
作者：
N. Johnson;D. Bartelink;R. Gold;J. Gibbons
通讯作者：
N. Johnson;D. Bartelink;R. Gold;J. Gibbons
DOI：
10.1016/0025-5416(67)90056-0
发表时间：
1967-11
期刊：
Materials Science and Engineering
影响因子：
--
作者：
E. Schibli;A. Milnes
通讯作者：
E. Schibli;A. Milnes
影响因子：
1.1
作者：
A. Chini;M. Esposto;G. Meneghesso;E. Zanoni
通讯作者：
A. Chini;M. Esposto;G. Meneghesso;E. Zanoni