High Aspect Ratio Nano-Structures (HARNS) for Photonic MEMS Based on Vertical DBR Architecture
High Aspect Ratio Nano-Structures (HARNS) for Photonic MEMS Based on Vertical DBR Architecture
复制标题
基于垂直 DBR 架构的光子 MEMS 高深宽比纳米结构 (HARNS)
DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
T.Shibata
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
F.Marty;B.Saadany;T.Bourouina;Yoshio Mita;T.Shibata
登录
查看更多内容
高深宽比微结构的低温干法蚀刻
DOI：
10.1109/memsys.1993.296953
发表时间：
1993
期刊：
[1993] Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems
影响因子：
--
作者：
K. Murakami;Y. Wakabayashi;K. Minami;M. Esashi
通讯作者：
M. Esashi
一种用于快速、精确深蚀刻纳米 MEMS 结构制造的轮廓光刻方法
DOI：
--
发表时间：
2005
期刊：
In Proc. of International Conference on Solid-State Sensors and Actuators and Microsystems (Transducers 2005), Seoul 2
影响因子：
--
作者：
Masanori Kubota;Yoshio Mita;Frederic Marty;Tarik Bourouina;Tadashi Shibata
通讯作者：
Tadashi Shibata
将测试结构集成到 MEMS 器件中的电气临界尺寸测量方法
DOI：
--
发表时间：
2005
期刊：
Int.Conf.on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '05)
影响因子：
--
作者：
K.Ito;Yoshio Mita;M.Kubota;F.Marty;T.Bourouina;T.Shibata
通讯作者：
T.Shibata
利用热光效应的微机械面内可调谐光学滤波器
DOI：
10.1117/12.477918
发表时间：
2003
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
Sungsik Yun;J. H. Lee
通讯作者：
J. H. Lee