Defect characterization and control for SiGe-on-insulator (Invited)

Defect characterization and control for SiGe-on-insulator (Invited)
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绝缘体上 SiGe 的缺陷表征和控制(特邀)

DOI:
--
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发表时间:
2010
期刊:
Proceeding of 10th International Conference on Solid-State and Integrated-Circuit Technology (ICSICT2010)
影响因子:
--
通讯作者:
H.Nakashima
H.Nakashima
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
D.Wang;H.Yang;H.Nakashima

文献摘要

参考文献

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