Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending device wafer
Tunable vertical comb for driving micromirror realized by bending device wafer
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通过弯曲器件晶圆实现驱动微镜的可调谐垂直梳
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Minoru SASAKI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Raphael Galicher;Masahiro ISHIMORI;Oliver Guyon;Minoru SASAKI
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多芯片直接安装的 512 MEMS 镜面阵列模块，采用密封封装，用于大型光学交叉连接
DOI：
10.1088/1464-4258/8/7/s08
发表时间：
2005
期刊：
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference, 2005.
影响因子：
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作者：
J. Mi;H. Soneda;H. Okuda;O. Tsuboi;N. Kouma;Y. Mizuno;S. Ueda;I. Sawaki
通讯作者：
I. Sawaki
通过晶圆弯曲构造的紧凑型三角测量传感器阵列
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Jpn.J.Appl.Phys.Part 1 (in press)
影响因子：
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作者：
S.Endou;M.Ishimori;M.Sasaki;K.Hane
通讯作者：
K.Hane
由带扣桥和垂直梳状驱动执行器构成的三维SOI-MEMS
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
IEEE Journal of Selected Topics Quantum Electronics 10
影响因子：
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作者：
M.Sasaki;D.Briand;W.Noell;N.de Rooij;K.Hane
通讯作者：
K.Hane
影响因子：
1.5
作者：
M. Ishimori;J. Song;M. Sasaki;K. Hane
通讯作者：
K. Hane