Development of spider micro-structured optical arrays for x-ray optics
Development of spider micro-structured optical arrays for x-ray optics
复制标题
用于X射线光学的蜘蛛微结构光学阵列的开发
DOI：
10.1117/12.860420
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Rodriguez Sanmartin D
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Rodriguez Sanmartin D
智能X射线光学（SXO）项目包括一个英国-基于财团开发主动/自适应微结构光学阵列（MOA）。这些装置被设计成使用掠入射反射通过在硅中蚀刻的连续对准的微观通道阵列来聚焦X射线。使用压电致动器和蜘蛛结构的组合来实现适应性，压电致动器使硅芯片的边缘弯曲，蜘蛛结构形成一系列杠杆，将芯片的边缘与中心的有源区连接起来，有效地放大了弯曲半径。测试支架结构已被弯曲至小于5 cm的曲率半径，表明在完整的设备中，可以实现使用串联对配置的合适焦距。有限元分析（FEA）建模已经进行了蜘蛛MOA装置的设计优化。已经使用用于PZT压电致动器的粘性塑性加工技术和用于硅通道和蜘蛛结构两者的使用（110）硅晶片中的{111}平面的单个湿法蚀刻步骤来制造原型装置。在硅沟道壁上实现了1.2 nm的表面粗糙度。表征技术已被开发，以评估由致动器产生的MOA通道的弯曲方面的设备性能。本文评估了迄今为止的进展蜘蛛MOA的发展比较有限元建模与原型结构所获得的结果。
The Smart X-Ray Optics (SXO) project comprises a U.K.-based consortium developing active/adaptive micro-structured optical arrays (MOAs). These devices are designed to focus X-rays using grazing incidence reflection through consecutive aligned arrays of microscopic channels etched in silicon. Adaptability is achieved using a combination of piezoelectric actuators, which bend the edges of the silicon chip, and a spider structure, which forms a series of levers connecting the edges of the chip with the active area at the centre, effectively amplifying the bend radius. Test spider structures, have been bent to a radius of curvature smaller than 5 cm, indicating that in complete devices a suitable focal length using a tandem pair configuration could be achieved. Finite Element Analysis (FEA) modelling has been carried out for the optimization of the spider MOA device design. Prototype devices have been manufactured using a Viscous Plastic Processing technique for the PZT piezoelectric actuators, and a single wet etch step using {111} planes in a (110) silicon wafer for both the silicon channels and the spider structure. A surface roughness of 1.2 nm was achieved on the silicon channel walls. Characterisation techniques have been developed in order to evaluate the device performance in terms of the bending of the MOA channels produced by the actuators. This paper evaluates the progress to date on the development of spider MOA's comparing FEA modelling with the results obtained for prototype structures.
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新型微结构自适应 X 射线光学器件
DOI：
--
发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
--
作者：
A. Michette;P. Prewett;A. K. Powell;S. Pfauntsch;K. Atkinson;B. Boonliang
通讯作者：
B. Boonliang
用于 X 射线光学的有源微结构阵列
影响因子：
1.7
作者：
A. Michette;T. Button;C. Dunare;C. Feldman;M. Folkard;D. Hart;C. Mcfaul;G. Morrison;W. Parkes;S. Pfauntsch;A. K. Powell;D. Rodriguez;Shahin Sahraei;T. Stevenson;B. Vojnovic;R. Willingale;Dou Zhang
通讯作者：
Dou Zhang
X射线光学有源微结构光学阵列研制进展
影响因子：
3.2
作者：
D. Rodriguez Sanmartin;Dou Zhang;T. Button;C. Atkins;P. Doel;Hongchang Wang;D. Brooks;C. Feldman;R. Willingale;A. Michette;S. Pfauntsch;Shahin Sahraei;M. Shand;A. James;C. Dunare;T. Stevenson;W. Parkes;Andy D. Smith
通讯作者：
Andy D. Smith
微加工光学阵列
DOI：
10.1109/smicnd.2010.5650215
发表时间：
2010
期刊：
CAS 2010 Proceedings (International Semiconductor Conference)
影响因子：
--
作者：
C. Dunare;W. Parkes;T. Stevenson;A. Michette;S. Pfauntsch;M. Shand;T. Button;D. Rodriguez Sanmartin;D. Zhang;C. Feldman;R. Willingale;P. Doel;H. Wang;A. Smith;A. James
通讯作者：
A. James
影响因子：
1.7
作者：
Dou Zhang;D. Rodriguez-Sanmartin;T. Button;C. Atkins;D. Brooks;P. Doel;C. Dunare;C. Feldman;A. James;A. Michette;W. Parkes;S. Pfauntsch;Shahin Sahraei;T. Stevenson;Hongchang Wang;R. Willingale
通讯作者：
Dou Zhang;D. Rodriguez-Sanmartin;T. Button;C. Atkins;D. Brooks;P. Doel;C. Dunare;C. Feldman;A. James;A. Michette;W. Parkes;S. Pfauntsch;Shahin Sahraei;T. Stevenson;Hongchang Wang;R. Willingale