Experimental and Theoretical Investigations of Delamination at free Edge of Interface between Piezoelectric Thin Films on a Sustrate
Experimental and Theoretical Investigations of Delamination at free Edge of Interface between Piezoelectric Thin Films on a Sustrate
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基板上压电薄膜界面自由边缘分层的实验和理论研究
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K Terada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
F.Shang;T.Kitamura;Hiroyuki Hirakata;Isaku Kanno;Hidetoshi Kotera;K Terada
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影响因子：
3.2
作者：
I. Kanno;H. Kotera;K. Wasa;T. Matsunaga;T. Kamada;R. Takayama
通讯作者：
I. Kanno;H. Kotera;K. Wasa;T. Matsunaga;T. Kamada;R. Takayama
具有集成加热器和压电探测器的微悬臂梁，适用于低功耗 SPM 数据存储应用
DOI：
10.1109/memsys.2003.1189679
发表时间：
2003
期刊：
The Sixteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2003. MEMS-03 Kyoto. IEEE
影响因子：
--
作者：
C.S. Lee;W. Jin;H. Nam;S.M. Cho;Y. Kim;J. Bu
通讯作者：
J. Bu
DOI：
10.1299/jsmea.45.363
发表时间：
2002
期刊：
Jsme International Journal Series A-solid Mechanics and Material Engineering
影响因子：
--
作者：
Yulan Li;Y. Sato;Katsuhiko Watanabe
通讯作者：
Katsuhiko Watanabe
影响因子：
1.5
作者：
Sun;Min;Kyung;Jin;Chang;D. Choi
通讯作者：
D. Choi
直接测量溶胶-凝胶 PZT 薄膜的压电性能
影响因子：
0.6
作者：
J. Gardeniers;A.G.B.J. Verholen;N. Tas;M. Elwenspoek
通讯作者：
M. Elwenspoek