Amorphous carbon nitride film preparation by plasma-assisted pulsed laser deposition method

Amorphous carbon nitride film preparation by plasma-assisted pulsed laser deposition method
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等离子体辅助脉冲激光沉积法制备非晶氮化碳薄膜

DOI:
--
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发表时间:
2004
期刊:
Appl.Phys.A 79
影响因子:
--
通讯作者:
伊藤 雅孝
伊藤 雅孝
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
K.Nagao;et al.;森直樹;荒木田大嗣;森直樹;森直樹;Y.Suda;M.Itoh;K.Takaki;田澤 将太;M.A.Bratescu;M.A.Bratescu;伊藤 雅孝

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