Study on acid generation from polymer
Study on acid generation from polymer
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聚合物产酸的研究
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H. Komano
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H. Yamamoto;T. Kozawa;A. Nakano;K. Okamoto;S. Tagawa;T. Ando;M. Sato;H. Komano
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用于后光学光刻的化学放大抗蚀剂中酸分布不均匀的潜在原因
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Jpn. J. Appl. Phys.
影响因子：
--
作者：
H. Yamamoto;T. Kozawa;A. Nakano;K. Okamoto;S. Tagawa;T. Ando;M. Sato;H. Komano
通讯作者：
H. Komano
脉冲辐解EB抗蚀剂反应机理研究
影响因子：
0.8
作者：
S. Tsuji;T. Kozawa;Yukio Yamamoto*;S. Tagawa
通讯作者：
S. Tagawa
皮秒脉冲辐射分解和激光闪光光解聚苯乙烯和聚α-甲基苯乙烯聚合物降解研究
影响因子：
2.9
作者：
S. Tagawa;W. Schnabel;M. Washio;Y. Tabata
通讯作者：
Y. Tabata
研究微观区域的辐射诱发反应，以基本了解光刻工艺中的电子束图案化（II）–抗蚀剂空间分辨率与离子物质空间分布之间的关系–
影响因子：
1.5
作者：
A. Saeki;T. Kozawa;Y. Yoshida;S. Tagawa
通讯作者：
S. Tagawa
光刻胶薄膜中的酸生成和酸扩散
DOI：
10.1117/12.59751
发表时间：
1992
期刊：
--
影响因子：
--
作者：
D. R. Mckean;R. Allen;P. H. Kasai;U. Schaedeli;S. Macdonald
通讯作者：
S. Macdonald