High Speed Deposition of YSZ Films by Laser Chemical Vapor Deposition

High Speed Deposition of YSZ Films by Laser Chemical Vapor Deposition
复制标题

激光化学气相沉积法高速沉积 YSZ 薄膜

DOI:
--
复制
发表时间:
2006
期刊:
Ceramic Transactions 195
影响因子:
--
通讯作者:
Takashi Goto
Takashi Goto
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Teiichi Kimura;Takashi Goto

文献摘要

参考文献

相似文献

使用 β-二酮配合物低压金属有机化学气相沉积 ZrO2 和 Y2O3 薄膜生长的反应分析
DOI: 10.1016/0022-0248(94)00623-7
发表时间: 1995
影响因子: 1.8
作者:
Y. Akiyama;Tsuneyuki Sato;N. Imaishi
通讯作者: N. Imaishi
金属有机化学气相沉积快速合成氧化钇部分稳定氧化锆薄膜
DOI: 10.2320/matertrans.43.2354
发表时间: 2002
影响因子: 1.2
作者:
R. Tu;Teiichi Kimura;T. Goto
通讯作者: T. Goto
DOI: 10.1143/jjap.42.l316
发表时间: 2003-03
影响因子: 1.5
作者:
Hidetoshi Miyazaki;Teiichi Kimura;T. Goto
通讯作者: Hidetoshi Miyazaki;Teiichi Kimura;T. Goto
DOI: 10.1016/0925-4005(90)80222-l
发表时间: 1990
影响因子: 8.4
作者:
A. Asada;Hideo Yamamoto;M. Nakazawa;H. Osanai
通讯作者: H. Osanai
多晶四方 Y2O3-ZrO2 具有高离子电导率
DOI: 10.1007/bf00726805
发表时间: 1984
期刊: Journal of Materials Science Letters
影响因子: --
作者:
N. Bonanos;R. Słotwiński;B. Steele;E. Butler
通讯作者: E. Butler