Reliability Study of MOS Capacitors Fabricated on 3C-SiC/Si Substrates

Reliability Study of MOS Capacitors Fabricated on 3C-SiC/Si Substrates
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3C-SiC/Si 基板上制作的 MOS 电容器的可靠性研究

DOI:
10.4028/www.scientific.net/msf.1004.659
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发表时间:
2020
期刊:
Materials Science Forum
影响因子:
--
通讯作者:
Li F
Li F
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Li F

文献摘要

参考文献

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