Ashing of DLC film by oxygen plasma beam converted from filtered carbon-cathodic-arc
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过滤碳阴极电弧转化的氧等离子束灰化 DLC 薄膜
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
田上英人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Sakamoto;T. Iida;S. Kurosaki;K. Yano;H. Taguchi;K. Nishio;and Y. Takanashi;松井幹彦;田上英人
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等离子体蚀刻对 DLC 薄膜的影响
影响因子：
2.1
作者：
M. Massi;R. Mansano;H. Maciel;C. Otani;P. Verdonck;L.N.B.M. Nishioka
通讯作者：
L.N.B.M. Nishioka
T型过滤电弧沉积中DLC膜沉积速率的提高
DOI：
--
发表时间：
2005
期刊：
Plasma Application and Hybrid Functionally Materials 14
影响因子：
--
作者：
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通讯作者：
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影响因子：
1.5
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通讯作者：
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影响因子：
2.5
作者：
G. Rowlands
通讯作者：
G. Rowlands
用于微流体通道的 DLC 薄膜的等离子蚀刻
DOI：
10.1016/s0026-2692(03)00077-6
发表时间：
2003
期刊：
Microelectron. J.
影响因子：
--
作者：
M. Massi;J. Ocampo;H. Maciel;K. Grigorov;C. Otani;L. Santos;R. Mansano
通讯作者：
R. Mansano