Double patterning by room-temperature nanoimprint using organic spin-on-glass
Double patterning by room-temperature nanoimprint using organic spin-on-glass
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使用有机旋涂玻璃通过室温纳米压印进行双重图案化
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Matsui
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Okada;Y.Haruyama;S.Matsui
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折射微透镜阵列的一步制造。
影响因子：
1.9
作者：
B. Keyworth;D. Corazza;J. McMullin;L. Mabbott
通讯作者：
L. Mabbott
室温纳米压印光刻的双层抗蚀剂方法
影响因子：
1.5
作者：
K. Nakamatsu;Kei;K. Tone;T. Katase;W. Hattori;Y. Ochiai;T. Matsuo;M. Sasago;H. Namatsu;M. Komuro;S. Matsui
通讯作者：
S. Matsui
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1.4
作者：
S. Matsui;Y. Igaku;H. Ishigaki;J. Fujita;M. Ishida;Y. Ochiai;H. Namatsu;M. Komuro
通讯作者：
M. Komuro
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影响因子：
1.4
作者：
K. Nakamatsu;K. Watanabe;K. Tone;H. Namatsu;S. Matsui
通讯作者：
S. Matsui
通过纳米压印技术在玻璃上进行室温复制
影响因子：
1.4
作者：
S. Matsui;Y. Igaku;H. Ishigaki;J. Fujita;M. Ishida;Y. Ochiai;M. Komuro;H. Hiroshima
通讯作者：
H. Hiroshima