Design and fabrication of a MEMS capacitive accelerometer with fully symmetrical double-sided H-shaped beam structure
Design and fabrication of a MEMS capacitive accelerometer with fully symmetrical double-sided H-shaped beam structure
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全对称双面H型梁结构MEMS电容式加速度计的设计与制作
DOI：
10.1016/j.mee.2014.10.005
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发表时间：
2015-01
影响因子：
2.3
通讯作者：
Wang Yuelin
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Zhou Xiaofeng;Che Lufeng;Liang Shenglin;Lin Youling;Li Xiaolin;Wang Yuelin
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DOI：
10.1007/s00542-010-1146-1
发表时间：
2010-12
期刊：
Microsystem Technologies
影响因子：
--
作者：
Kalyan Kumar Mistry;K. Swamy;S. Sen
通讯作者：
Kalyan Kumar Mistry;K. Swamy;S. Sen
DOI：
10.1109/tsmcc.2009.2032660
发表时间：
2010-01-01
期刊：
IEEE TRANSACTIONS ON SYSTEMS MAN AND CYBERNETICS PART C-APPLICATIONS AND REVIEWS
影响因子：
--
作者：
Pantelopoulos, Alexandros;Bourbakis, Nikolaos G.
通讯作者：
Bourbakis, Nikolaos G.
影响因子：
1.3
作者：
Hu, Qifang;Gao, Chengchen;Yang, Gang
通讯作者：
Yang, Gang
DOI：
10.1088/0960-1317/19/7/075006
发表时间：
2009-07-01
影响因子：
2.3
作者：
Hsu, Chia-Pao;Yip, Ming-Chuen;Fang, Weileun
通讯作者：
Fang, Weileun
影响因子：
4.6
作者：
Baoqing Li;D. Lu;Weiyuan Wang
通讯作者：
Baoqing Li;D. Lu;Weiyuan Wang