Observation of micro-characters using three-dimensional shape measurement method based on speckle interferometry
Observation of micro-characters using three-dimensional shape measurement method based on speckle interferometry
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基于散斑干涉法的三维形状测量方法观察微观特征
DOI：
10.1080/09500340.2020.1864041
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Yasuhiko Arai
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Shouhei Kidera;Umita Hirose;and Peixian Zhu;Yasuhiko Arai
散斑干涉测量法长期以来被用于测量具有粗糙表面的物体的变形。目前，它可用于测量三维微结构的形状，通过有意地向被测物体施加横向位移并分析由于位移引起的相位变化。通过对微硅球、衍射光栅等微结构的测量，验证了该测量方法的有效性。在这项研究中，具有人工形状的对象，通过这种方法在微区域的测量的有效性进行了分析，使用电子束光刻系统绘制的微字符。实验结果表明，该方法可以对人工制作的三维微结构进行形貌测量。这是通过观察字母“U”来实现的，用超过物镜透镜衍射极限的线宽来说明。
Speckle interferometry has long been used to measure the deformation of an object with a rough surface. Currently, it can be used to measure the shape of a three-dimensional microstructure by intentionally applying a lateral shift to the measured object and analysing the change in phase due to the shift. Furthermore, the validity of this measurement method has been verified in terms of the measurement of microstructures, such as micro-silica spheres and diffraction gratings. In this study, the validity of the measurement of an object possessing an artificial shape by this method in the micro-region is analysed using micro-characters drawn by an electron-beam lithography system. It is confirmed that this method can perform the shape measurement of three-dimensional microstructures that are artificially produced. This was achieved by observing the letter ‘U’, illustrated with a line width beyond the diffraction limit of the objective lens.
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DOI：
--
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S.Yokozeki
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作者：
Y. Arai
通讯作者：
Y. Arai