Instabilities in high-power impulse magnetron plasmas: from stochasticity to periodicity
Instabilities in high-power impulse magnetron plasmas: from stochasticity to periodicity
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高功率脉冲磁控管等离子体的不稳定性：从随机性到周期性
DOI：
10.1088/0022-3727/46/8/084007
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Schulz-von der Gathen V
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Winter J;Hecimovic A;De los Arcos T;Böke M;Schulz-von der Gathen V
我们观察到，高功率脉冲磁控等离子体显示出旋转发射结构的形式的不稳定性。快速CCD相机测量显示运动到E× B方向。其特征频率在100 kHz范围内。它们与浮动电位的调制和朗缪尔探针的离子饱和电流的变化相关。自转速度约为10 km s-1。方位角模式数，即发射节点的数量取决于电流。频谱的快速傅里叶变换（FFT）分析表明，该结构凝聚出宽带波动，表明从随机到周期性行为的过渡。朗缪尔探针信号的FFT还识别了在2.4 MHz附近的其他类型的不稳定性，这对应于修改后的双流不稳定性的频率。
We observed that high-power pulsed magnetron plasmas show instabilities in the form of rotating emission structures. Fast CCD camera measurements show motion into the E× B direction. Their characteristic frequencies are in the 100 kHz range. They are correlated with a modulation of the floating potential and changes in the ion saturation current of a Langmuir probe. Rotation velocities are of the order of 10 km s− 1. The azimuthal mode number, ie the number of emission nodes depends on current. The fast Fourier transform (FFT) analysis of the frequency spectra indicates that the structures condense out of broad band fluctuations suggesting transition from stochastic to periodic behaviour. FFT of the Langmuir probe signals also identifies other types of instabilities at around 2.4 MHz, which is corresponding to the frequency of a modified two-stream instability.
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