AlN Films Fabricated by Sapphire Nitridation Method

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蓝宝石氮化法制备AlN薄膜

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
H. Fukuyama
H. Fukuyama
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
久保山宏;et al.;H. Fukuyama

文献摘要

参考文献

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