Helicon-wave-excited Plasma Sputtering Deposition of Ga-doped ZnO Transparent Conducting Films
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螺旋波激发等离子体溅射沉积 Ga 掺杂 ZnO 透明导电薄膜
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
S.F.Chichibu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
M.Sugiyama;A.Murayama;T.Imao;K.Saiki;H.Nakanishi;S.F.Chichibu
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