Shape Measurement Method of Two-Dimensional Micro-Structures beyond the Diffraction Limit Based on Speckle Interferometry
Shape Measurement Method of Two-Dimensional Micro-Structures beyond the Diffraction Limit Based on Speckle Interferometry
复制标题
基于散斑干涉的超衍射极限二维微结构形状测量方法
DOI：
10.3390/photonics8100420
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
2.4
通讯作者：
Arai Yasuhiko
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kim Ji-wook;Heo Dan;Wang Jie;Kim Hyung-sub;Ota Satoshi;Takemura Yasushi;Huh Chulhaeng;Bae Seongtae;Arai Yasuhiko
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物镜前孔径电磁模拟考虑零级衍射光束中物体形状相位信息的存在性
DOI：
10.1080/09500340.2020.1760383
发表时间：
2020
期刊：
J. Modern Optics
影响因子：
--
作者：
Hirotoshi Kaneko;Tadanao Zanma;Kang-Zhi Liu;Kenta Koiwa;Yasuhiko Arai
通讯作者：
Yasuhiko Arai
利用散斑干涉法进行超越透镜衍射极限的三维形状测量
影响因子：
1.3
作者：
Y. Arai
通讯作者：
Y. Arai
卡尔曼滤波器空间条纹分析方法测量精度的提高及其应用
影响因子：
1.3
作者：
Y. Arai;S. Yokozeki
通讯作者：
S. Yokozeki
影响因子：
1.3
作者：
Arai, Yasuhiko
通讯作者：
Arai, Yasuhiko
基于相位分析的散斑干涉微形状测量方法
影响因子：
2.4
作者：
Yusuke Hirota;Shinya Nakamura;Kohei Shiomoto;Hidetsugu Sugiyama;Noboru Yoshikane;Satoru Okamoto;Masaki Murakami;Takahiro Hirayama;Satoshi Yamanoi;Arai Yasuhiko
通讯作者：
Arai Yasuhiko