Reverse Lift-Off Process and Application for Cu-Zr-Ti Metallic Glass Thick Film Structures
Reverse Lift-Off Process and Application for Cu-Zr-Ti Metallic Glass Thick Film Structures
复制标题
Cu-Zr-Ti金属玻璃厚膜结构的反向剥离工艺及应用
DOI:
10.20965/ijat.2015.p0646
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发表时间:
2015
影响因子:
1.1
通讯作者:
Seiichi Hata
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
Shigetaka Watanebe;Junpei Sakurai;Mizue Mizoshiri;Seiichi Hata
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影响因子:
2.3
作者:
Shigetaka Watanabe;J. Sakurai;S. Hata
通讯作者:
S. Hata
影响因子:
1.5
作者:
T. Yamazaki;Toshio Yoshizawa;T. Yamabuchi;S. Hirobayashi;T. Kikuta;N. Nakatani;T. Mizuguchi
通讯作者:
T. Mizuguchi
DOI:
--
发表时间:
2003
期刊:
Jpn. J. Appl. Phys 42
影响因子:
--
作者:
Yoshisato YOKOYAMA;Takashi FUKUSHIGE;Seiichi HATA;Kazuya MASU;Akira SHIMOKOHBE
通讯作者:
Akira SHIMOKOHBE
DOI:
10.1007/s00542-011-1294-y
发表时间:
2011
期刊:
Microsystem Technologies
影响因子:
--
作者:
J. Moulin;M. Woytasik;I. Shahosseini;F. Alves
通讯作者:
F. Alves
DOI:
--
发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
--
作者:
J. Melai;C. Salm;R. Wolters;J. Schmitz
通讯作者:
J. Schmitz