Reverse Lift-Off Process and Application for Cu-Zr-Ti Metallic Glass Thick Film Structures

Reverse Lift-Off Process and Application for Cu-Zr-Ti Metallic Glass Thick Film Structures
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Cu-Zr-Ti金属玻璃厚膜结构的反向剥离工艺及应用

DOI:
10.20965/ijat.2015.p0646
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发表时间:
2015
影响因子:
1.1
通讯作者:
Seiichi Hata
Seiichi Hata
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
Shigetaka Watanebe;Junpei Sakurai;Mizue Mizoshiri;Seiichi Hata

文献摘要

参考文献

被引文献

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