Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible polyimide membranes
Microfabrication of hybrid structure composed of rigid silicon and flexible polyimide membranes
复制标题
由刚性硅和柔性聚酰亚胺膜组成的混合结构的微加工
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Takahiro Ito
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Sunao Murakami;Daisuke Ishihara;Masateru Araki;Tomoyoshi Horie;Naoto Ohira;Takahiro Ito
登录
查看更多内容
具有电容式换能器间隙的两点支撑环形微谐振器的制造
DOI：
10.1109/nems.2011.6017452
发表时间：
2011
期刊：
IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
影响因子：
--
作者：
S. Murakami;M. Konno;T. Ikehara;R. Maeda;T. Mihara
通讯作者：
T. Mihara
微机电系统中结构-流体-静电相互作用的层次分解
影响因子：
2.4
作者：
D. Ishihara;T. Horie;T. Niho;A. Baba
通讯作者：
A. Baba
采用面内圆盘谐振器的新型MEMS振荡器及其传感平台及其质量传感特性
DOI：
10.1109/transducers.2011.5969670
发表时间：
2011
期刊：
International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference
影响因子：
--
作者：
M. Konno;T. Ikehara;S. Murakami;R. Maeda;Mutsumi Kimura;T. Fukawa;Takashi Mihara
通讯作者：
Takashi Mihara
双翅目扑翼被动俯仰运动气动贡献的实验和计算研究
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
Daisuke Ishihara;Tomoyoshi Horie;Tomoya Niho;石原大輔，堀江知義，二保知也;D. Ishihara
通讯作者：
D. Ishihara
微机电系统中结构-流体-静电相互作用的层次分解
影响因子：
2.4
作者：
D. Ishihara;T. Horie;T. Niho;A. Baba
通讯作者：
A. Baba