High Cleanliness of Portable Clean-Unit-Box to Unite Clean-Unit System Platforms and CUSP Units
High Cleanliness of Portable Clean-Unit-Box to Unite Clean-Unit System Platforms and CUSP Units
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高清洁度的便携式洁净单元箱将洁净单元系统平台和 CUSP 单元结合在一起
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Md. D. Rahaman
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Iseki;T.Saka;T.Kato;H.Horinaka and T.Matsuyama;海住英生;海住英生;海住英生;海住英生;Md. D. Rahaman
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洁净单元系统平台中连接洁净单元的物理分析
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics 45・8A
影响因子：
--
作者：
M.Iseki;T.Saka;T.Kato;H.Horinaka and T.Matsuyama;海住英生;海住英生;海住英生;海住英生;Md. D. Rahaman;海住 英生;海住 英生;海住 英生;椎木 一夫;川口 敦吉
通讯作者：
川口 敦吉
洁净机组系统平台中极低空气颗粒数的研究
影响因子：
1.6
作者：
H. Kaiju;Nobuyoshi Kawaguchi;A. Ishibashi
通讯作者：
A. Ishibashi
基于连体盒单元的紧凑型高洁净环境的跨学科实验平台
影响因子：
1.1
作者：
A. Ishibashi;H. Kaiju;Y. Yamagata;Nobuyoshi Kawaguchi
通讯作者：
Nobuyoshi Kawaguchi
通过超净处理实现 ULSI 可靠性
DOI：
10.1109/5.220903
发表时间：
1993
期刊：
Proc. IEEE
影响因子：
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作者：
T. Ohmi
通讯作者：
T. Ohmi
II-VI 族激光二极管中的电流注入诱发位错网络：自上而下系统中出现的自下而上结构
影响因子：
1.1
作者：
A. Ishibashi;K. Kondo
通讯作者：
K. Kondo