Development of Low Voltage Electrothermal MEMS Mirror for Micro Optical Diffusion Sensor
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微型光学扩散传感器低压电热MEMS镜的研制
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kiuchi;Y.;Taguchi;Y.;and Nagasaka;Y.
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