interactions of Argon Cluster Ion Beams with Silicon Surfaces

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氩团簇离子束与硅表面的相互作用

DOI:
--
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发表时间:
2005
期刊:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 232
影响因子:
--
通讯作者:
M.Kawashita et al.
M.Kawashita et al.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
G.H.Takaoka;M.Kawashita et al.

文献摘要

参考文献

被引文献

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